[PConline 资讯]据外媒报道称，CEA技术研究所Leti开发了一种用于监测危险的化学物质排放和微量气体的光声光谱技术。与现有工具相比，这个技术可以帮助将这些系统的成本和尺寸降低10倍甚至更多。
据介绍称，这个探测器还具有较高的抗外部噪声能力和高灵敏度和选择性，它将在Photonics West 2020的邀请论文中发表，题为“微型PA检测器：突破集成在硅片上的中红外光声光谱技术的极限”。这个论文的主要作者吉恩-纪尧姆·库塔德（Jean-Guillaume Coutard）介绍称：“ PA电池的特殊设计可以提高对外部噪声和测量条件变化的抵抗力，这一结果源于CEA-Leti的麦克风制造专有技术，它为将这些设备集成到便携式检测设备中开辟了道路。”
据了解，光声（PA）光谱学是可用于监视危险化学物质排放和微量气体的最灵敏技术之一。这个技术结合级联激光器已在从工业控制到排放监测和生物医学分析的众多应用领域中使用，不过这种系统的大规模生产和广泛使用将需要较小的占地面积和较低的制造成本。
CEA-Leti开发了不同版本的微型光声电池，并演示了使用微型硅基PA电池检测气体痕迹的方法。缺点之一就是该系统依赖于商用MEMS麦克风，即使这些组件可靠并且满足某些性能要求，它们也不专用于光声气体检测也不易于集成到制造工艺流程中。
Leti开发的新型microPA技术结合了完全集成的MEMS麦克风和通过堆叠两个200 mm Si晶圆而构建的中红外光子学。传感器晶片包括由MEMS机械膜片和纳米压阻计以及毛细管和流体端口制成的麦克风。第二个晶片是帽状晶片，包括PA单元、扩展体积，可将光引导到PA单元中的SiGe波导以及电触点。
编译来源：Newelectronic
